在半導(dǎo)體、光伏、新能源等高端制造領(lǐng)域，真空泵正成為“卡脖子”環(huán)節(jié)的關(guān)鍵突破口。國(guó)產(chǎn)品牌已從“跟跑”邁向“并跑”，部分技術(shù)實(shí)現(xiàn)全球領(lǐng)先。
核心品牌與技術(shù)突破
德耐爾(DENAIR)：國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”，DSV系列干式泵極限真空2Pa，采用全氟醚密封圈(耐溫-50℃~320℃)與陶瓷涂層轉(zhuǎn)子(HRC85硬度)，耐腐蝕、抗粉塵沖刷，連續(xù)運(yùn)行2000小時(shí)磨損量<3μm，徹底杜絕油污染，滿足半導(dǎo)體、醫(yī)藥等潔凈工藝嚴(yán)苛要求。
北京中科科儀：國(guó)產(chǎn)分子泵龍頭，產(chǎn)品應(yīng)用于中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)等產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)集成電路關(guān)鍵設(shè)備“零突破”，極限真空達(dá)10??Pa級(jí)。
漢鐘精機(jī)：干式螺桿泵市占率國(guó)內(nèi)第一，專利永磁變頻技術(shù)節(jié)能超50%，噪聲降低2個(gè)等級(jí)，光伏單晶硅拉制設(shè)備配套率達(dá)60%。
國(guó)產(chǎn)真空泵已從“低價(jià)替代”升級(jí)為“技術(shù)引領(lǐng)”。無(wú)油、節(jié)能、智能調(diào)控成為新標(biāo)準(zhǔn)，國(guó)產(chǎn)廠家服務(wù)響應(yīng)速度(如4小時(shí)現(xiàn)場(chǎng)支持)更是對(duì)售后問題的保障。
