螺桿真空泵,無油靜音的真空革命——讓精密制造告別油污與震動(dòng),效率悄然升級(jí)。
干式螺桿真空泵,無油潔凈零污染,高效節(jié)能長壽命,專為半導(dǎo)體與醫(yī)藥等高端真空?qǐng)鼍傲可泶蛟臁?/p>
無油潔凈,零污染
采用非接觸式螺桿轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì),工作腔無需潤滑油,徹底杜絕油蒸氣反流,滿足半導(dǎo)體、醫(yī)藥、科研等對(duì)潔凈度要求嚴(yán)苛的工藝環(huán)境。
節(jié)能高效,運(yùn)行成本低
高效型線轉(zhuǎn)子配合變頻驅(qū)動(dòng),容積效率超85%,較傳統(tǒng)油封泵節(jié)能20–30%,極限功耗低至8.8kW,長期使用顯著降低電費(fèi)支出。
長壽命,高可靠性
轉(zhuǎn)子無摩擦運(yùn)行,平均無故障時(shí)間超20,000小時(shí);非接觸軸封+夾套水冷設(shè)計(jì),耐腐蝕、抗粉塵,適應(yīng)濕氣、溶劑蒸汽等復(fù)雜工況。
維護(hù)簡便,低運(yùn)維負(fù)擔(dān)
日常僅需定期更換進(jìn)氣過濾器,無需換油、無油污清理,齒輪箱采用免潤滑設(shè)計(jì),維護(hù)周期延長50%以上,減少非計(jì)劃停機(jī)。
寬壓運(yùn)行,靜音穩(wěn)定
可從大氣壓直接啟動(dòng),穩(wěn)定工作范圍覆蓋10³–10?¹ Pa;優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使運(yùn)行噪音低于64 dB(A),振動(dòng)極小,適配精密產(chǎn)線環(huán)境。
適用于:半導(dǎo)體刻蝕、光伏鍍膜、醫(yī)藥凍干、化工蒸餾、實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)等場景。
作為干式真空泵的主流選擇,螺桿泵正逐步替代旋片泵與爪式泵,成為現(xiàn)代工業(yè)清潔真空的首選方案。