矚日能源作為鈣鈦礦光伏組件制造商，其真空鍍膜工序?qū)υO(shè)備抽速和極限真空度有著特殊要求。在制備電子傳輸層時(shí)，需要維持10^-3Pa級(jí)的高真空環(huán)境來(lái)保證薄膜均勻性，同時(shí)應(yīng)對(duì)不同鍍膜腔體之間的快速切換需求。

　　技術(shù)適配

　　德耐爾為其配置DPX系列干式螺桿真空泵組合方案。

　　DPX300匹配主鍍膜線300立方米每小時(shí)的超大抽速，采用雙螺桿轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)無(wú)油蒸汽抽除;

　　DPX200則專(zhuān)供研發(fā)中試線，其變頻控制技術(shù)可精準(zhǔn)匹配不同鍍膜工藝的真空曲線。

　　兩臺(tái)設(shè)備均通過(guò)ISO8573-1零級(jí)認(rèn)證，獨(dú)特的防結(jié)晶設(shè)計(jì)有效應(yīng)對(duì)有機(jī)金屬前驅(qū)體的沉積問(wèn)題。

　　成效表現(xiàn)

　　系統(tǒng)投用后組件光電轉(zhuǎn)換效率波動(dòng)范圍縮小40%，鍍膜成品率提升至行業(yè)領(lǐng)先水平。相比原系統(tǒng)能耗降低約25%，設(shè)備智能聯(lián)鎖功能更實(shí)現(xiàn)與進(jìn)口鍍膜機(jī)的毫秒級(jí)響應(yīng)配合。其模塊化結(jié)構(gòu)為未來(lái)TOPCon技術(shù)路線升級(jí)預(yù)留了真空系統(tǒng)改造空間。