作為半導(dǎo)體材料及設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，晶盛半導(dǎo)體在單晶硅生長(zhǎng)、晶圓切割等超精密工序中，對(duì)壓縮空氣的潔凈度、壓力穩(wěn)定性提出了納米級(jí)要求。氣源品質(zhì)直接關(guān)系到半導(dǎo)體材料的純度與器件性能。?

　　經(jīng)過(guò)多輪嚴(yán)苛測(cè)試，晶盛半導(dǎo)體引入德耐爾 DAV-75、DAVW-30 及 DAVW-75 三款空壓機(jī)組成氣源系統(tǒng)。DAV-75 作為主力機(jī)型，搭載七級(jí)精密過(guò)濾系統(tǒng)，完美適配單晶硅爐的氣動(dòng)控制系統(tǒng)，避免雜質(zhì)污染晶體生長(zhǎng)環(huán)境。?

　　DAVW-30 以緊湊設(shè)計(jì)服務(wù)于晶圓檢測(cè)車間，其超低振動(dòng)運(yùn)行保障精密儀器的測(cè)量精度;DAVW-75 則為光刻工序提供恒壓氣源，確保光刻圖案分辨率。三款設(shè)備均采用全封閉隔音設(shè)計(jì)，運(yùn)行下降，適配潔凈車間環(huán)境。?

　　設(shè)備投用后，晶盛半導(dǎo)體單晶硅成品率有效提升，氣源系統(tǒng)能耗降低，為高端半導(dǎo)體材料量產(chǎn)提供了堅(jiān)實(shí)保障。