作為專業(yè)的電子材料及元器件制造商,德清華瑩在半導體封裝、光電元件鍍膜等核心工序中,對真空環(huán)境的穩(wěn)定性和潔凈度有著極高要求。真空度的精準控制直接影響材料結合強度與產品性能一致性。
經(jīng)過技術論證與實地測試,德清華瑩引入德耐爾干式螺桿真空泵與水環(huán)泵組成復合真空系統(tǒng)。干式螺桿真空泵采用無油密封技術,可實現(xiàn)極限真空度,且排氣潔凈無油污,完美適配芯片鍵合工序的高潔凈要求,避免油蒸氣污染晶圓表面。?
水環(huán)泵則憑借大抽速優(yōu)勢,快速建立基礎真空環(huán)境,與干式螺桿真空泵形成接力運行模式,抽氣效率大大提升。這套組合設備搭載智能壓力控制系統(tǒng),真空度波動可控制,保障鍍膜厚度均勻性。?
設備投用后,德清華瑩半導體封裝良率提升,鍍膜工序生產效率得到大幅提高,設備維護成本大大降低。德耐爾真空設備的穩(wěn)定運行,為其精密電子元件的高品質生產提供了可靠真空保障,助力在高端電子材料領域持續(xù)突破。?