作為專(zhuān)業(yè)的電子材料及元器件制造商,德清華瑩在半導(dǎo)體封裝、光電元件鍍膜等核心工序中,對(duì)真空環(huán)境的穩(wěn)定性和潔凈度有著極高要求。真空度的精準(zhǔn)控制直接影響材料結(jié)合強(qiáng)度與產(chǎn)品性能一致性。
經(jīng)過(guò)技術(shù)論證與實(shí)地測(cè)試,德清華瑩引入德耐爾干式螺桿真空泵與水環(huán)泵組成復(fù)合真空系統(tǒng)。干式螺桿真空泵采用無(wú)油密封技術(shù),可實(shí)現(xiàn)極限真空度,且排氣潔凈無(wú)油污,完美適配芯片鍵合工序的高潔凈要求,避免油蒸氣污染晶圓表面。?
水環(huán)泵則憑借大抽速優(yōu)勢(shì),快速建立基礎(chǔ)真空環(huán)境,與干式螺桿真空泵形成接力運(yùn)行模式,抽氣效率大大提升。這套組合設(shè)備搭載智能壓力控制系統(tǒng),真空度波動(dòng)可控制,保障鍍膜厚度均勻性。?
設(shè)備投用后,德清華瑩半導(dǎo)體封裝良率提升,鍍膜工序生產(chǎn)效率得到大幅提高,設(shè)備維護(hù)成本大大降低。德耐爾真空設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行,為其精密電子元件的高品質(zhì)生產(chǎn)提供了可靠真空保障,助力在高端電子材料領(lǐng)域持續(xù)突破。?