作為專注于大尺寸硅片研發(fā)制造的高新技術(shù)企業(yè),超硅半導體在單晶生長、硅片切割等核心工序中,對壓縮空氣的潔凈度和壓力穩(wěn)定性有嚴苛要求。氣源品質(zhì)直接影響硅片表面光潔度與晶體結(jié)構(gòu)完整性。?
經(jīng)過多輪技術(shù)篩選,超硅半導體引入德耐爾 DA-22/0.8 空壓機作為關(guān)鍵氣源設(shè)備。該機型搭載高效螺桿主機與四級精密過濾系統(tǒng),有效避免污染物附著在硅片表面導致的缺陷。其穩(wěn)定輸出的 0.8MPa 氣壓,為單晶爐氣動閥門的精準調(diào)控提供可靠動力。?
DA-22/0.8 采用智能變頻技術(shù),可根據(jù)硅片加工節(jié)奏動態(tài)調(diào)節(jié)運行功率,較傳統(tǒng)設(shè)備節(jié)能。設(shè)備的低振動設(shè)計保障了精密切割設(shè)備的運行精度,而緊湊機身適配潔凈車間的空間布局需求。?
投用后,超硅半導體大尺寸硅片的表面缺陷率下降,單晶生長合格率提升,氣源系統(tǒng)運維成本降低。德耐爾空壓機的可靠運行,為超硅半導體在高端硅材料領(lǐng)域的技術(shù)突破提供了堅實氣源保障。